Antureiden pääluokitus:
Tarkoituksen mukaan
Paineherkät ja voimaherkät anturit, sijaintianturit, tasoanturit, energia-anturit, nopeusanturit, kiihtyvyysanturit, säteilyanturit, lämpöanturit.
Periaatteen mukaan
Tärinäanturi, kosteusanturi, magneettisensori, kaasuanturi, tyhjiöanturi, biosensori jne.
Paina lähtösignaalia
Analoginen anturi: muuntaa mitatun ei-sähköisen suuren analogiseksi sähköiseksi signaaliksi.
Digitaalinen anturi: Muuntaa mitatut ei-sähköiset suureet digitaalisiksi lähtösignaaleiksi (sekä suoriksi että epäsuoriksi).
Digitaalinen anturi: Muuntaa mitatun semaforin taajuussignaalin tai lyhytjaksoisen signaalin ulostuloksi (mukaan lukien suora tai epäsuora muunnos).
Kytkinanturi: Kun mitattu signaali saavuttaa tietyn kynnyksen, anturi lähettää asetetun matalan tai korkean signaalin vastaavasti.
Valmistusprosessin mukaan
Integroidut anturit valmistetaan käyttämällä standardia prosessitekniikkaa piipohjaisten puolijohdeintegroitujen piirien valmistukseen.
Osa piiristöstä, jota käytetään aluksi prosessoimaan testattava signaali, on myös tyypillisesti integroitu samaan siruun.
Ohutkalvosensori muodostuu kalvosta vastaavasta herkästä materiaalista, joka on kerrostettu dielektriselle alustalle (substraatille). Kun käytetään sekoitusprosessia, osa piiristä voidaan valmistaa myös tälle alustalle.
Paksukalvosensori valmistetaan päällystämällä vastaavaa materiaalia olevaa lietettä keraamiselle alustalle, joka on yleensä valmistettu Al2O3:sta, ja sitten lämpökäsitellään paksun kalvon muodostamiseksi.
Keraamiset anturit valmistetaan käyttämällä tavallisia keraamisia prosesseja tai joitain niiden muunnelmia (sooli, geeli jne.).
Kun asianmukainen valmistelutoimenpide on suoritettu, muodostettu komponentti sintrataan korkeassa lämpötilassa. Paksukalvon ja keraamisten antureiden kahden prosessin välillä on monia yhteisiä ominaisuuksia. Joissakin suhteissa paksukalvoprosessia voidaan pitää keraamisen prosessin muunnelmana.
Jokaisella prosessitekniikalla on omat etunsa ja haittansa. Keraamiset ja paksukalvoanturit ovat järkevämpiä johtuen
