Anturi on ilmaisulaite, joka voi havaita mitatun tiedon ja voi muuntaa tunnistetun tiedon sähköiseksi signaaliksi tai muuksi vaadittavaksi tiedonlähdemuodoksi vastaamaan tiedonsiirtoa, käsittelyä, tallennusta ja näyttöä, tallennusta ja hallintaa koskevia vaatimuksia.
Luokiteltu valmistusprosessin mukaan:
Integroidut anturit valmistetaan standardiprosessitekniikalla piipohjaisten puolijohde-integroitujen piirien tuottamiseksi. Osa piiristä, jota käytetään alun perin testattavan signaalin prosessointiin, on tyypillisesti integroitu samaan siruun, kuten nyt kehitettävä MEMS-anturi.
Ohutkalvoanturi muodostetaan kalvosta vastaavasta herkästä materiaalista, joka on kerrostettu dielektriselle alustalle (substraatille). Sekoitusprosessia käytettäessä osa piiristä voidaan valmistaa myös tälle alustalle.
Paksu kalvoanturi valmistetaan päällystämällä vastaavan materiaalin liete keraamiselle alustalle, joka on yleensä valmistettu Al203: sta, ja sitten lämpökäsitelty paksun kalvon muodostamiseksi.
Keraamiset anturit valmistetaan käyttämällä tavanomaisia keraamisia menetelmiä tai niiden joitain muunnelmia (sooli, geeli jne.). Kun sopiva valmistelutoimenpide on suoritettu, muodostunut komponentti sintrataan korkeassa lämpötilassa.
Paksujen kalvojen ja keraamisten antureiden kahden prosessin välillä on monia yhteisiä piirteitä. Joissakin suhteissa paksukalvoprosessia voidaan pitää muunnelmana keraamisesta prosessista.
Anturien valinta ei ole pelkästään herkkyyden, taajuusvasteen, lineaarisen alueen, vakauden ja tarkkuuden kannalta. Stabiilisuus liittyy läheisesti alustamateriaaliin. Muutamat ensimmäiset kohteet tarkastelevat pääasiassa valmistusprosessia. Vakauden kannalta sopivin ei-keraaminen piirilevy antureille. Keraamisten materiaalien stabiilisuus on varsin hyvä. Niin kauan kuin valmistusprosessitekniikka voi kulkea, keraamiset piirilevyt ovat ehdottomasti parempia kuin muut piirilevyt.
Paras keraamisten piirilevyjen valmistusprosessi on LAM-tekniikka, Laser Activation Metallization (LAM-tekniikka), joka käyttää suurenergisiä lasersäteitä keramiikan ja metallien ionisoimiseksi vahviksi.
Kotimaiset anturivalmistajat ovat kuitenkin tällä hetkellä pääasiassa pieniä ja keskisuuria. Kalvoprosesseja on edelleen käytössä, ja käytetään FR-4-substraatteja. Käyttöikä ei ole pitkä, vakaus on heikko, ja hieman ankarassa ympäristössä ne iskevät suoraan. Anturin saaminen kansainvälisten standardien mukaiseksi vaatii paljon vaivaa.
Anturi tarvitsee edelleen keraamisen piirilevyn. Sitä on käytetty laajalti kehittyneissä maissa. Kiina ei ole oikeastaan teknisesti rajoitettu, ja anturipiirilevyjen vaihto riippuu suurimmista valmistajista, Goerista, Dahuasta. Ottaakseen johtoaseman valmistajat toteuttavat teknologisia innovaatioita, jotta Kiinasta tulee isompi ja vahvempi, Kiinan anturiteollisuus voi myös saavuttaa maailman tahdin.
