Anturi on tunnistuslaite, joka voi havaita mitatun tiedon ja muuntaa havaitun tiedon sähköiseksi signaaliksi tai muuksi vaadittavaksi tiedonantomuodoksi tietojen siirron, käsittelyn, tallentamisen ja näyttöä, tallennusta ja ohjausta koskevien vaatimusten täyttämiseksi.
Luokiteltu valmistusprosessin mukaan:
Integroidut anturit valmistetaan käyttämällä standardia prosessitekniikkaa piipohjaisten puolijohdeintegroitujen piirien valmistukseen. Osa piiristöstä, jota käytetään aluksi testattavan signaalin prosessoimiseen, on myös tyypillisesti integroitu samaan siruun, kuten nyt kehitteillä oleva MEMS-anturi.
Ohutkalvosensori muodostuu kalvosta vastaavasta herkästä materiaalista, joka on kerrostettu dielektriselle alustalle (substraatille). Kun käytetään sekoitusprosessia, osa piiristä voidaan valmistaa myös tälle alustalle.
Paksukalvosensori valmistetaan päällystämällä vastaavaa materiaalia olevaa lietettä keraamiselle alustalle, joka on yleensä valmistettu Al2O3:sta, ja sitten lämpökäsitellään paksun kalvon muodostamiseksi.
Keraamiset anturit valmistetaan käyttämällä tavallisia keraamisia prosesseja tai joitain niiden muunnelmia (sooli, geeli jne.). Kun asianmukainen valmistelutoimenpide on suoritettu, muodostettu komponentti sintrataan korkeassa lämpötilassa.
Paksukalvon ja keraamisten antureiden kahden prosessin välillä on monia yhteisiä ominaisuuksia. Joissakin suhteissa paksukalvoprosessia voidaan pitää keraamisen prosessin muunnelmana.
Anturien valinta ei koske vain herkkyyttä, taajuusvastetta, lineaarista kantamaa, vakautta ja tarkkuutta. Stabiilisuus liittyy läheisesti substraattimateriaaliin. Muutamat ensimmäiset kohteet koskevat pääasiassa valmistusprosessia. Vakauden kannalta sopivin ei-keraaminen piirilevy antureille. Keraamisten materiaalien stabiilisuus on melko hyvä. Niin kauan kuin valmistusprosessitekniikka kestää, keraamiset piirilevyt ovat ehdottomasti parempia kuin muut piirilevyt.
Paras keraamisten piirilevyjen valmistusprosessi on LAM-tekniikka, Laser Activation Metallization (LAM-tekniikka), joka käyttää suurienergisiä lasersäteitä keramiikan ja metallien ionisoimiseen niiden vahvistamiseksi.
Tällä hetkellä kotimaiset anturivalmistajat ovat kuitenkin pääasiassa pieniä ja keskisuuria. Käytössä on edelleen monia kalvoprosesseja, ja FR-4-substraatteja käytetään. Käyttöikä ei ole pitkä, vakaus huono ja hieman ankarassa ympäristössä ne iskevät suoraan. Vaatii paljon vaivaa, jotta anturi pysyy kansainvälisten standardien tasolla.
Anturi tarvitsee edelleen keraamisen piirilevyn. Sitä on käytetty laajasti kehittyneissä maissa. Kiina ei ole varsinaisesti teknisesti rajoittunut, ja anturipiirilevyjen vaihto riippuu suurimmista valmistajista, Goer, Dahua. Ottaakseen johtoaseman, valmistajat toteuttavat teknologisia innovaatioita, kasvaakseen ja vahvemmiksi, Kiinan anturiteollisuus voi myös saada kiinni maailman vauhdista.
